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以SiHCl3和SiCl4的混合物为原料制备多晶硅热力学
根据相关热力学数据,首先计算并拟合得到Si-C1-H三元系中气相Cl与H原子的摩尔LL(ncl/nH)与反应达到平衡时的气相Si与C1原子的摩尔比(nsi......
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